超精密加工與加工機床，刀具，加工工藝，甚至加工環境都有密不可分的關係。

首先精密加工機床必須有以下幾個特點：

1、  高精度，包括機床的主軸回轉精度、導軌運動精度、分度精度等都不能低於零件的加工精度要求。

2、  高剛性及穩定性。高剛性過程中機床剛性需要保持良好，還需呀同時考慮工件、刀具、機床、夾具所組成的工藝係統剛度，避免超精密加工過程中產生振動或者變形。高穩定性指機床能夠在規定的環境下保持良好的精度、抗幹擾、抗振、熱穩定性等。

3、  高自動化。保證加工精度的同時實現自動化是超精密機床的必要條件，現代超精密加工機床多配有精密控製係統實現自動控製工件及主軸的運動軌跡，有效避免人為因素產生的誤差，提高加工質量。